電 子 級(jí) 水
1 范圍
GB/T11446的本部分規(guī)定了電子級(jí)水的級(jí)別、技術(shù)指標(biāo)要求、試驗(yàn)方法和檢驗(yàn)規(guī)則。
本部分適用于電子和半導(dǎo)體工業(yè)用高純清洗用水。
2 規(guī)范性引用文件
下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。 GB/T11446.3—2013 電子級(jí)水測試方法通則
GB/T11446.4—2013 電子級(jí)水電阻率的測試方法
GB/T11446.5—2013 電子級(jí)水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法
GB/T11446.6—2013 電子級(jí)水中二氧化硅的分光光度測試方法
GB/T11446.7—2013 電子級(jí)水中痕量陰離子的離子色譜測試方法
GB/T11446.8—2013 電子級(jí)水中總有機(jī)碳的測試方法
GB/T11446.9—2013 電子級(jí)水中微粒的儀器測試方法
GB/T11446.10—2013 電子級(jí)水細(xì)菌總數(shù)的濾膜培養(yǎng)測試方法
3 術(shù)語和定義
下列術(shù)語和定義適用于本文件。
3.1
電子級(jí)水 electronicgradewater
電子和半導(dǎo)體工藝過程中所用的高純水。
3.2
電阻率 resistivity
在規(guī)定溫度下,1cm3(正立方體)水溶液兩相對(duì)面之間測得的電阻值。通常用符號(hào)ρ表示,單位為 歐姆厘米(Ω·cm),純水的理論電阻率為18.3MΩ·cm (25 ℃)。
3.3
全硅 totalsilicon
水中可溶性硅和以二氧化硅膠體狀態(tài)存在的硅的總量。
3.4
可溶性硅 solublesilicon
以單一分子狀態(tài)存在于水中的溶解性硅酸鹽。
3.5
微粒性物質(zhì) granularmatter
除氣體以外,以非液態(tài)分散在水中,并形成非均相混合物的物質(zhì)。
1
GB/T11446.1—20133.6
總有機(jī)碳 totalorganiccarbon;TOC
水中以各種有機(jī)物形式存在的碳的總量。包括易被一般強(qiáng)氧化劑氧化的有機(jī)物和需用特殊方法氧 化的有機(jī)物。
3.7
吸附 absorption
某些多孔性粒狀物質(zhì)由于表面活性作用而具有吸著某些物質(zhì)的現(xiàn)象。
3.8
凝聚 coagulation
在源水中加入某種電解質(zhì)后,水中帶有電荷的膠體微粒被電解質(zhì)中的異種電荷中和,從而使其聚集 成較大顆粒而沉降的現(xiàn)象。
3.9
絮凝 flocculation
水中的微粒在一定條件下相互碰撞而集結(jié)為絮狀沉淀的現(xiàn)象。絮凝一般是在凝聚作用后緩慢進(jìn) 行,可除去水中更細(xì)的微粒。
3.10
砂濾器 sandfilter
用于盛放不同直徑的砂粒,以除去源水中懸浮固體和混濁物的裝置。
3.11
活性碳過濾器 activatedcarbonfilter
裝有粒狀活性碳的過濾器,用于除去水中的可溶性有機(jī)物和過量的殘余氯。
3.12
離子交換 ionexchange
一種不溶性物質(zhì)與一種液體之間相互交換離子的可逆過程,該過程中物質(zhì)并無實(shí)質(zhì)性結(jié)構(gòu)變化。
3.13
離子交換樹脂 ion-exchangeresin
一種合成的有機(jī)離子交換材料。
3.14
去離子水 deionizedwater
經(jīng)過離子交換處理,除去了呈離子形式的雜質(zhì)的高純水。
3.15
再生 regeneration
離子交換過程操作循環(huán)中的一部分。在該部分中,用一定量的化學(xué)試劑通過離子交換樹脂使其恢 復(fù)交換能力。
3.16
復(fù)合床 complexbed
將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂分別裝入兩個(gè)離子交換柱中,將兩柱串聯(lián),使水依次通過兩個(gè) 柱而被純化。
3.17
混合床 mixedbed
將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂混合均勻,填充于同一離子交換柱中,其純化效果相當(dāng)于許多 復(fù)合床串聯(lián)使用。
2
GB/T11446.1—20133.18
電滲析 electrodialysis
一種分離水中離子的方法。在電滲析器中,陰陽兩極之間用交替排列的陰、陽離子交換膜分隔成一 系列小室。水流通過小室時(shí),在直流電場作用下,水中陽離子向陰極方向移動(dòng),但不能通過陽膜;陰離子 則相反。這樣就形成相間存在的濃、淡水室而達(dá)到提純水的目的。
3.19
逆向滲透 reverseosmosis
用半透膜將濃水和淡水隔開,并在濃水上施加比滲透壓更強(qiáng)的機(jī)械壓力,則濃水中大部分水透過半 透膜而雜質(zhì)仍留在其中,達(dá)到分離提純的目的。
3.20
反滲透膜 reverseosmosismembrane
用于反滲透法制備純水的一種合成薄膜,其孔徑一般為0.02μm 或更小,可用于除去無機(jī)離子、有 機(jī)物、細(xì)菌等,使水純化。
3.21
微孔膜濾器 membranefilter
一種平均孔徑(直徑)大于0.01μm 的薄膜,能把大于平均孔徑的微粒截留在其表面或附近。
3.22
超過濾 ultrafiltration
一種過濾方法,在一定壓力下使水流通過超濾膜以除去水中的極細(xì)微粒、膠體和細(xì)菌等。
3.23
終端 terminal
高純水生產(chǎn)流程中經(jīng)過各道凈化工藝后,水的出口或使用地點(diǎn)。
3.24
無菌 sterile
不含任何活有機(jī)體(不論是活躍的或休眠的)。
3.25
pH
水溶液中氫離子活度的負(fù)對(duì)數(shù)或氫氧根離子活度倒數(shù)的負(fù)對(duì)數(shù)。
4 分類和標(biāo)記
4.1 分類
電子級(jí)水分為四個(gè)級(jí)別:Ⅰ級(jí)、Ⅱ級(jí)、Ⅲ級(jí)和Ⅳ級(jí)。
4.2 標(biāo)記
Ⅰ級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為:EW-Ⅰ。 Ⅱ級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為:EW-Ⅱ。 Ⅲ級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為:EW-Ⅲ。 Ⅳ級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為:EW-Ⅳ。
5 要求
電子級(jí)水的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表1規(guī)定。
3
GB/T11446.1—2013
表 1 電子級(jí)水的技術(shù)指標(biāo)
項(xiàng) 目 技術(shù)指標(biāo)
EW-Ⅰ EW-Ⅱ EW-Ⅲ EW-Ⅳ
電阻率(25 ℃)/MΩ·cm ≥18 (5%時(shí)間不低于17) ≥15 (5%時(shí)間不低于13) ≥12.0 ≥0.5
全硅/(μg/L) ≤2 ≤10 ≤50 ≤1000
微粒數(shù)/ (個(gè)/L) 0.05μm~0.1μm 0.1μm~0.2μm 0.2μm~0.3μm 0.3μm~0.5μm > 0.5μm 500 300 50 20 4 — — — — — — — — — — — — — — —
細(xì)菌個(gè)數(shù)/(個(gè)/mL) ≤0.01 ≤0.1 ≤10 ≤100
銅/(μg/L) ≤0.2 ≤1 ≤2 ≤500
鋅/(μg/L) ≤0.2 ≤1 ≤5 ≤500
鎳/(μg/L) ≤0.1 ≤1 ≤2 ≤500
鈉/(μg/L) ≤0.5 ≤2 ≤5 ≤1000
鉀/(μg/L) ≤0.5 ≤2 ≤5 ≤500
鐵/(μg/L) ≤0.1 — — —
鉛/(μg/L) ≤0.1 — — —
氟/(μg/L) ≤1 — — —
氯/(μg/L) ≤1 ≤1 ≤10 ≤1000
亞硝酸根/(μg/L) ≤1 — — —
溴/(μg/L) ≤1 — — —
硝酸根/(μg/L) ≤1 ≤1 ≤5 ≤500
磷酸根/(μg/L) ≤1 ≤1 ≤5 ≤500
硫酸根/(μg/L) ≤1 ≤1 ≤5 ≤500
總有機(jī)碳/(μg/L) ≤20 ≤100 ≤200 ≤1000
6 試驗(yàn)方法
6.1 電阻率
電子級(jí)水的電阻率按 GB/T11446.4—2013進(jìn)行測定。
6.2 全硅含量(以二氧化硅計(jì))
電子級(jí)水全硅(以二氧化硅計(jì))含量按 GB/T11446.6—2013進(jìn)行測定。
4
GB/T11446.1—20136.3 微粒數(shù)
電子級(jí)水中微粒數(shù)按 GB/T11446.9—2013進(jìn)行測定。
6.4 細(xì)菌總數(shù)
電子級(jí)水中細(xì)菌總數(shù)按 GB/T11446.10—2013進(jìn)行測定。
6.5 痕量金屬含量
電子級(jí)水中痕量金屬的含量按 GB/T11446.5—2013進(jìn)行測定。
6.6 氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量
電子級(jí)水中氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量按
GB/T11446.7—2013進(jìn)行測定。
6.7 總有機(jī)碳含量
電子級(jí)水中總有機(jī)碳含量按 GB/T11446.8—2013進(jìn)行測定。
7 檢驗(yàn)規(guī)則
7.1 檢驗(yàn)部門
電子級(jí)水的檢驗(yàn)均應(yīng)在有資質(zhì)的檢驗(yàn)部門進(jìn)行。
7.2 檢驗(yàn)分類
電子級(jí)水的檢驗(yàn)分為交收檢驗(yàn)和例行檢驗(yàn)。
7.3 交收檢驗(yàn)
7.3.1 抽驗(yàn)項(xiàng)目
電子級(jí)水中電阻率、鈉離子、全硅(以二氧化硅計(jì))為交收檢驗(yàn)項(xiàng)目。
7.3.2 合格判據(jù)
在用水終端采樣,檢驗(yàn)后檢驗(yàn)結(jié)果如有一項(xiàng)或一項(xiàng)以上不合格時(shí),應(yīng)再次采樣進(jìn)行檢驗(yàn),如仍不合 格,則該批不合格,應(yīng)提出改進(jìn)措施直到水質(zhì)合格。
7.4 例行檢驗(yàn)(全檢項(xiàng)目)
7.4.1 檢驗(yàn)項(xiàng)目
檢驗(yàn)項(xiàng)目為表1規(guī)定的全部項(xiàng)目。檢驗(yàn)順序應(yīng)以不影響后序試驗(yàn)結(jié)果的原則進(jìn)行檢驗(yàn)。
7.4.2 不合格判定
在用水終端采樣后進(jìn)行例行檢驗(yàn),檢驗(yàn)結(jié)果如有不合格項(xiàng)時(shí),應(yīng)再次采樣進(jìn)行檢驗(yàn),如仍有不合格 項(xiàng)時(shí),應(yīng)提出改進(jìn)措施直到水質(zhì)合格。
5
GB/T11446.1—20137.4.3 檢驗(yàn)頻次
例行檢驗(yàn)至少每年進(jìn)行一次,當(dāng)制水條件發(fā)生變更時(shí)也應(yīng)進(jìn)行例行檢驗(yàn)。
8 采樣、貯存、運(yùn)輸及標(biāo)志
8.1 采樣、貯存、運(yùn)輸
電子級(jí)水的采樣、貯存、運(yùn)輸應(yīng)符合 GB/T11446.3—2013的規(guī)定。
8.2 標(biāo)志
在用水終端采樣進(jìn)行檢驗(yàn)時(shí),水質(zhì)合格后應(yīng)附有檢驗(yàn)合格證,合格證應(yīng)包含如下內(nèi)容: a) 名稱及級(jí)別; b) 各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo); c) 制水單位; d) 供水日期; e) 檢驗(yàn)員簽章及檢驗(yàn)日期。
ruilonghuanbao@126.com
400-858-2822
13913722733
0512-69390999